EDX-7000/8000能量色散X射線分析利用x射線能量不同而展譜一般稱為x射線能譜分析或能量色散x射線分析,所用設(shè)備通常稱為能量色散譜儀。主要單元是半導(dǎo)體探測器及多道脈沖高度分析器,用以將特征x射線按能量展i}}Er7,5的分辨率遠不如波長色散譜儀,它有分析速度快的優(yōu)點,和通用的x射線波長色散譜儀相比可提高10倍,如果進行物相鑒定,只需幾分鐘就可以得到被測物質(zhì)的全部衍射花樣。
通過測定熒光X射線的能量實現(xiàn)對被測樣品的分析的方式稱之為能量色散X射線熒光分析,相應(yīng)的儀器稱之為能譜儀,通過測定熒光X射線的波長實現(xiàn)對被測樣品分析的方式稱之為波長色散X射線熒光分析,相應(yīng)的儀器稱之為X射線熒光光譜儀。
根據(jù)激發(fā)方式的不同,X射線熒光分析儀可分為源激發(fā)和管激發(fā)兩種:用放射性同位素源發(fā)出的X射線作為原級X射線的X熒光分析儀稱為源激發(fā)儀器;用X射線發(fā)生器(又稱X光管)產(chǎn)生原級X射線的X熒光分析儀稱為管激發(fā)儀器。
能量色散型又根據(jù)探測器的類型分為(Si-PIN)型和SDD型。在不同的應(yīng)用條件下,這幾種類型的技術(shù)各有其突出的特點。目前,X射線熒光分析不僅材料科學(xué)、生命科學(xué)、環(huán)境科學(xué)等普遍采用的一種快速、準(zhǔn)確而又經(jīng)濟的多元素分析方法。
這也是X射線熒光光譜儀也是野外現(xiàn)場分析和過程控制分析等方面常用儀器之一。同時,成為地質(zhì)、冶金、建材、石油化工、半導(dǎo)體工業(yè)和醫(yī)藥衛(wèi)生等領(lǐng)域的重要分析手段。